工艺流程:
放置货位--快捷的洗涤起--应急门一键停用--二文丘里管的洗涤--抽滤出现脱水(去静电放电正离子风与加水腔体辅助软件变干)--清洁终止--警报信息提示
--玻璃板门自动化浏览器打开。
选用飞速抽滤设置,首要选择于4-124英寸的硅晶圆片的高精密拆洗;答配二流体力学拆洗、排除静电排除/氢气、飞速抽滤等裝置,使被除污件起到干、洁净车间的原因。
应用领域:
PBT-650晶元清洗机适用于各类摄像头模组、晶圆片的精密清洗。
设备特点:
•可换洗刷洗吸盘,能让用4-12寸大的刷洗吸盘;
•操作步骤程序程序图可按操作诉求编辑整改,主设备运营程序、清洁工作精力及杜六房加盟总部的参数表可立即编织;
•系统作业工作状态及参数指标高清在线实时路况追踪,自己门配备健康管理光栅,提高操作步骤健康管理;
•分为负压物理吸附式清洁工作盘,晶元工装夹具的取放更的安全、便捷;
•摆臂式清晰,清晰超位置可在编,适合超位置广、无清晰盲点检测、无四次污染问题,清晰效用更好;
•机械设备洗涤室全填料密封,且备有自動挡水圈,更有效避免 首次的污染;
•快速离心式定制,电机转速可控节100-2000R/Min;
•添置差异化的的防静电驱除安全装置,辅助制作洗涤达到最宜应用效果,可供选择择应用N2;
•产品备有大范围无色洞察分析窗;
•缩少间距的省余地设计的概念,组成部分宽敞,使用率余地小;
•服务器镜面玻璃玻璃不锈钢材质的屏幕,本事酸碱性,对岗位区域无感染,镜面玻璃玻璃壳体更能清洗。
技术参数: